洗滌塔在光伏電池制成車間廢氣處理中承擔核心凈化功能，主要針對酸性氣體（HF、HCl、NOx）和部分有機污染物，其應用工藝及技術要點如下：

 ?一、應用場景與核心功能??

1、制絨/清洗：?廢氣成分主要是HF、HCl（500–2000 mg/m3），堿性噴淋中和（NaOH溶液），HF去除率>99%。

2、刻蝕?：廢氣成分主要是HNO?霧、NOx（300–1000 mg/m3），氧化還原+堿液吸收，NOx轉化率>85%。

3、擴散爐：?廢氣成分主要是H?SO?霧、微量POCl?，多級水洗+堿液噴淋，酸霧去除率>95%。

?二、工藝設計要點?

1. 分級處理結構?

A[廢氣] --> B(一級噴淋：預冷卻+粗過濾)；

B --> C(二級噴淋：主反應區(qū)酸堿中和)；

C --> D(三級精細處理：氧化/還原)；

D --> E[除霧器] --> F[達標排放]；

填料層?：多面球或鮑爾環(huán)填料，氣液接觸面積提升50%。

噴淋系統(tǒng)?：螺旋噴嘴霧化液滴（粒徑50–100μm），覆蓋率>90%。

除霧器?：折流板或絲網(wǎng)除霧，液滴捕集效率>99%。

2. 關鍵參數(shù)控制??

pH值?：一級噴淋pH 8–9（NaOH），確保HF→NaF完全反應。

液氣比?：1.5–2.5 L/m3，兼顧效率與運行成本。

空塔流速?：0.6–1.2 m/s，防止霧沫夾帶。

?三、行業(yè)定制化方案?

案例1：多晶硅制絨廢氣處理?

工藝鏈?：旋風除塵 → 兩級噴淋塔（一級NaOH中和HF，二級NaClO氧化NOx）→ 除霧

成效?：HF濃度從1500mg/m3降至<1mg/m3，符合GB 39731-2020。

案例2：PECVD尾氣處理?

工藝鏈?：洗滌塔（H?O?氧化SiH? + H?SO?吸收NH?）→ RTO焚燒殘余VOCs。

安全設計?：實時監(jiān)測SiH?濃度（防爆閾值1.3%）。

?四、材料與運維要求?

1、耐腐蝕材質?：

塔體：PPH（均聚聚丙烯）。

噴嘴：碳化硅（SiC）抵御HF腐蝕。

2、智能控制?：

pH在線監(jiān)測+自動加藥（精度±0.5），壓差傳感器預警填料堵塞。

3、廢液處理?：

氟化鈣沉淀脫水后危廢處置，硝酸鹽廢液制化肥原料。

技術趨勢?：洗滌塔正與等離子體裂解（處理NF?）、轉輪濃縮（處理VOCs）形成模塊化集成系統(tǒng)，實現(xiàn)光伏廢氣全組分凈化。